滑閥式真空泵，全稱滑閥式油封機(jī)械真空泵，簡稱滑閥泵，同旋片泵一樣，是一種變?nèi)莘e式氣體傳輸泵，其應(yīng)用范圍和使用條件也與旋片泵基本相同。
滑閥式真空泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地應(yīng)用與大型真空設(shè)備上。滑閥式真空泵的基本類型也分為單級與雙級兩種類型。其中單級泵中的小泵極限壓力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)）；雙級泵的極限壓力不大于0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。抽速大于150L/s的滑閥式真空泵多采用單級形式。
由于滑閥式真空泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大偏心，沒有好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大振動。同時由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)心運(yùn)動軌跡是復(fù)雜的封閉曲線，因此很難實(shí)現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。這就限制了滑閥式真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)，一般控制在350～600r/min，個別的可達(dá)到1000r/min以上。
二、滑閥式真空泵的工作原理與結(jié)構(gòu)
1、滑閥式真空泵的工作原理
滑閥式真空的主要結(jié)構(gòu)包括泵體、偏心輪、滑閥組件和導(dǎo)軌等，干式螺桿真空泵廠家珂勒曦以圖例的方式為大家展現(xiàn)其簡易工作原理。
圖一：簡易滑閥式真空泵工作原理圖
如圖，與泵腔同心的驅(qū)動軸帶動偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動滑閥環(huán)運(yùn)動，使滑閥桿在導(dǎo)軌上下滑動和左右擺動。滑閥將泵腔分成A、B兩個部分。當(dāng)驅(qū)動軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動時，A腔容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)入口、滑閥桿（A腔一側(cè)開口）進(jìn)入A腔，此時處于吸氣過程。滑閥繼續(xù)順時針向左上位置運(yùn)轉(zhuǎn)，A腔容積達(dá)到z*大時，進(jìn)氣口與A腔隔絕，吸氣過程結(jié)束，與此同時，B腔容積處于不斷的減小、壓縮氣體的過程。當(dāng)B腔氣體壓力達(dá)到排氣壓力時，推開油封的排氣閥，開始排氣。當(dāng)滑閥處于正上方的位置時，排氣結(jié)束（A腔容積也處于z*大），新一輪的循環(huán)過程開始。
2、滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
如圖一所示，滑閥式真空泵的主要結(jié)構(gòu)包括了泵體、偏心輪、滑閥環(huán)、滑桿、導(dǎo)軌等一系列組件。與旋片式真空泵類似，滑閥泵也設(shè)有氣鎮(zhèn)閥，氣鎮(zhèn)孔開在排氣口附近或端蓋上，以排除含可凝性蒸氣的氣體，并在泵出口設(shè)置有油氣分離器，減少泵油的損耗和對環(huán)境的污染。
下圖是典型的滑閥式真空泵結(jié)構(gòu)圖。
典型的滑閥式真空泵結(jié)構(gòu)圖
除了單雙級的區(qū)分外，滑閥式真空泵還有單缸、雙缸、三缸的區(qū)分，其中三缸滑閥泵較好地解決了滑閥的質(zhì)量平衡，使泵的振動得到了較好改善，轉(zhuǎn)速也相對較高。
三、滑閥式真空泵的應(yīng)用要點(diǎn)
滑閥式真空泵與旋片式真空泵一樣可單獨(dú)使用，同時也可作為擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵等真空泵的前級泵使用，與旋片泵相比滑閥泵更為耐用，在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結(jié)、分子蒸餾、航空模擬實(shí)驗(yàn)的領(lǐng)域使用較多。但在遇含水蒸氣、粉塵等介質(zhì)環(huán)境，需加裝過濾裝置，也無法用于易燃易爆氣體環(huán)境以及壓縮輸送氣體。同時受限于油封式機(jī)械真空泵的特點(diǎn)，在一些清潔環(huán)境領(lǐng)域，如半導(dǎo)體、石化等，適用性不及一些干式真空泵。
四、滑閥式真空泵噪聲來源和解決方法
機(jī)械撞擊噪聲是滑閥泵噪聲的主要成分。滑閥泵在正常運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，滑閥與泵體內(nèi)壁（進(jìn)氣側(cè)的大、小缸交接處）會發(fā)生機(jī)械撞擊而產(chǎn)生強(qiáng)烈的機(jī)械撞擊噪聲。影響機(jī)械撞擊噪聲的因素：泵體與滑閥環(huán)之間的間隙、偏心輪與滑閥環(huán)之間的間隙、泵軸心與泵體大缸中心的偏移量等。在設(shè)計上通常會調(diào)整撞擊部位的間隙，減輕甚至消滅撞擊，從而降低滑閥泵的機(jī)械撞擊噪聲。
1、液體撞擊噪聲、氣液排放噪聲是泵噪聲的重要成分。
滑閥泵在壓縮過程中，滑閥帶動泵油高速沖向排氣孔附近的泵缸內(nèi)壁和滑閥桿，產(chǎn)生強(qiáng)烈的液體撞擊噪聲。并且在滑閥泵排氣過程中由于潤滑油和氣體高速通過排氣流道時會產(chǎn)生強(qiáng)烈的氣液排放噪聲。這兩種噪聲在滑閥泵排氣末段時z*為明顯。要降低這二種噪聲，在設(shè)計時可以選擇較低的轉(zhuǎn)速，較小的泵缸內(nèi)徑，以此來降低液體撞擊時的速度和氣液排放速度，有利于降低噪聲；在泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時，減少進(jìn)油量泵，以此來減少撞擊泵內(nèi)壁的油量和排放的油量，有利于降低噪聲。氣液排放噪聲還可以通過改進(jìn)排氣閥的流道，盡量增大通道面積，降低潤滑油通過排氣閥時的速度，有利于降低噪聲。
2、軸承噪聲在滑閥泵噪聲中不常見。
滑閥泵轉(zhuǎn)速較低，軸承潤滑充分，軸承正常運(yùn)轉(zhuǎn)時發(fā)出的聲音極低。軸承噪聲主要指的是軸承不運(yùn)轉(zhuǎn)正常時發(fā)出的噪聲。當(dāng)滑閥泵內(nèi)的軸承因加工、運(yùn)輸和安裝過程中受傷害而存在缺陷，在正常運(yùn)轉(zhuǎn)時，軸承會發(fā)出異常的“嗒嗒嗒”的聲音，這種噪聲頻率較低、聲強(qiáng)較弱，但明顯可聞。
3、汽蝕噪聲在滑閥泵噪聲中很少見到。對于中、大型的滑閥泵而言，泵的轉(zhuǎn)速不宜選取太高，否則容易出現(xiàn)汽蝕現(xiàn)象，降低泵的壽命。
4、油箱也是影響滑閥泵噪聲的一個因素。
鋼板焊接油箱容易引起振動；鑄鐵油箱不易產(chǎn)生振動，并且鑄鐵本身有吸聲效果，所以使用鑄鐵油箱可使泵的噪聲低2~3 分貝（A）。油箱內(nèi)置的油氣分離器在不影響排氣壓力的情況下，可適當(dāng)增加阻擋，增強(qiáng)消聲效果，如此也可以使泵的噪聲低1~2分貝（A）。
