干式真空泵主要在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用于發展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，而歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。
為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。
1、干式真空泵的介紹及原理
此為立式雙螺桿干式真空泵，它的吸氣和排氣原理和大多數是一樣的，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。
干式真空泵工作時，相互之間無摩擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結構，與等螺距結構相比，極限真空更高，而消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式真空泵的更新換代產品。
兩年的備品備件是標準的O型圈。從上至下的輸送方式能可靠地處理夾帶液體的濕氣及粉塵，并且無需過濾器。z*優化的螺桿外形設計使功率消耗降到z*低，簡單的設計可使泵腔在1小時內在現場全部解體，易于清洗維護。
2、獨特的冷卻方式
很多泵轉子卡死的原因是吸入含有粉塵及結晶的物質、高溫發生聚合的物質、熱敏性物質的升華造成轉子間的縫隙被堵死，另外一個原因是由于長期運轉，轉子會由于熱脹冷縮而發生形變，造成泵的卡死。
干式真空泵的冷卻方式：
目前市面上的干泵多用夾套冷卻水對轉子進行冷卻。
而有的立式螺桿真空泵的冷卻系統更獨特，比如在泵內增加了螺桿內部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻，很好的維持內表面的溫度，不至于溫度過高或過低，始終維持在一個合適的溫度，以防被抽的熱敏性物質分解，及高溫易聚合的物質，比如HCN及MMA生產企業就比較適合。
3、抽除易燃易爆及腐蝕性介質怎么辦？
眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發生反應才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質或是在轉子上做一些防腐涂層來延緩腐蝕速率。
但是由于干式真空泵運行時內部存在苛刻的熱條件，所以使用上述耐腐蝕材料來處理腐蝕性介質對無油干式真空泵是不適合的。
此外使用鐵劑金屬高鍍鎳涂層材質，一旦出現細微的裂紋就會導致材料產生迅速的電化學腐蝕。那么是不是只要特殊設計能可靠地控制溫度的設備把腐蝕性介質保持在氣相狀態，沒有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了？答案是肯定的。該泵應用其自身先進的冷卻系統，可以調整泵腔內及轉子的溫度，使之沒有離子形式存在，全都氣化，從而避免腐蝕。所以此螺桿干式真空泵轉子采用不銹鋼，不做任何涂層，降低了成本，增加了安全性能。
評價爆炸有兩個指標：可燃物質的閃點及燃點。因為螺桿干式真空泵中的兩個螺桿在泵體內沒有摩擦，所以不會產生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統降低泵內溫度使被抽物質的燃點難以達到，從而杜絕爆炸！
4、干式真空泵的密封
泵內既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環水回路之間的密封，因此可以抽除有毒有害介質。
絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個軸只有一處無接觸密封，不存在由軸封損傷帶來的停機，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環境及排氣口污染。
5、控制系統的組成
干式真空系統還具有z*佳的控制系統，有獨立的工作站和總線，能很好的解決了溫度、壓力、轉速、電機同步、開停機、閥門開關和泵本身自清洗控制等問題，并且可能存在溫升的地方都增加了測溫點，增強了系統的安全性。使干泵系統能適應化工、制藥里z*嚴苛的環境。
主要由以下三部分組成：
內置基本驅動模塊；
數據總線控制柜；
冷卻液泵的控制和防爆馬達控制中心。
6、干式真空泵的特點
有些真空泵是兩個電機同步驅動，在確保全速和扭矩控制的同時，保證在泵運行時維持無部件相互接觸；
無密封設計，確保無泄露；
通過對內表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持z*小的內部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應；輕松的輸送腐蝕性介質，安全的輸送易燃易爆氣體。
1）清潔環保；
2）真空度高；
3）防腐設計（專利技術）；
4）可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體（專利技術）；
5）特殊軸封設計，杜絕被抽介質與潤滑系統互相污染；
6）防過載設計；
7）運轉平穩；
8）高標準配置；
9）附件配置齊全
10）優質健全的零配件供應。
7、總結
干式真空泵是未來行業發展的趨勢，雖然現在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業的未來經濟效益，但是干式真空泵使工作容積中無油，因此帶來了不少益處。
有些立式螺桿真空泵通過對內表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持z*小的內部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應；輕松的輸送腐蝕性介質，安全的輸送易燃易爆氣體。
適于處理含固體微粒介質并且不需要加過濾器。
