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油式真空泵在使用過程中因為保養不到位或這樣那樣的問題導致出現一些故障，建議按以下步驟進行：
1：切斷電源，將真空泵從真空系統上卸下;
2：用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來，以免污染環境；
3：卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶);
4：先拆低真空端，取下后端蓋，再取出低真空轉子、旋片及彈簧等；
5：將前端蓋拆下，取出高真空轉子、旋片及彈簧等；
6：取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等；
7：將所拆下的金屬零件用汽油徹底清洗干凈，并用酒精脫水。橡膠零件可用15％的氫氟化鈉水溶掖煮沸去油。對有毛刺或生銹的零部件．可用油石或金相砂紙輕輕地研磨，以去除銹斑和毛刺。清洗后的零部件必須烘干；
8：裝配時，先裝后級，將彈簧、旋片托起裝入轉子內，然后放入進口真空泵腔．裝上前端蓋．再裝定位銷．均勻對稱地擰緊螺釘。裝配后．應保證轉動靈活、均勻。裝好前級轉子及后端蓋后，再裝排氣閥（排氣閥片應貼緊閥座）及其它件，如氣鎮裝置等。