一、安全信息
1.泵必須由接受過適當培訓的技術(shù)員來維護；
2.確認該技術(shù)員對泵油及系統(tǒng)的產(chǎn)物十分熟悉；
3.做維護之前必須將泵停下，降到安全的溫度；
4.斷開泵及其他元件與電路的連接，以避免發(fā)生意外；
5.維護完畢，在沒接上電源之前，重新檢查一下泵的旋轉(zhuǎn)方向；
6.‘O’rings和墊圈如果損壞不可重復(fù)利用；
7.在運轉(zhuǎn)過程中，泵和油會受到化學品的污染。所以，應(yīng)確認泵是否清洗干凈，并采取足夠的措施防止這些有害物質(zhì)對人員的傷害；
8.維護完畢后，應(yīng)檢查是否有泄露的地方，如有，應(yīng)重新密封；
9.不要接觸或吸入泵受高溫（260℃）產(chǎn)生的熱降解的產(chǎn)物，它們是很危險的，包括油、油脂和真空脂。
二、檢查前置真空泵油位
根據(jù)需要，可以在泵運轉(zhuǎn)的時候檢查油位，但如果要往里加油時則需斷開前置真空泵及相關(guān)部件與電源的連接。
1.透過前置真空泵的可視窗口檢查油位是否在z*低限以上，z*高限以下。
2.如果油位在z*低限或低于z*低限，打開加油孔，加油至z*高限，如加得過滿可從出口放掉點。
3.如果油污染嚴重時，放掉受污染的油，清洗泵后加入干凈的油。
三、更換前置真空泵油
1.開啟泵運轉(zhuǎn)10分鐘以加熱泵油，然后關(guān)泵（油加熱后可降低其粘性，比較容易倒出來）。
2.斷開泵和電路及真空系統(tǒng)的連接。
3.取下加油孔的塞子
4.將泵放在一個適當?shù)闹挝铮ㄈ纾旱首樱┥弦苑奖惚玫膬A斜，在排油口下放合適的容器。取下排油口的塞子，讓油在重力的作用下流到容器中。
5.油受到污染時：
5.1取下加油孔的塞子，倒進干凈的油。
5.2重新連上泵和電路的連接，開泵運轉(zhuǎn)5～10分鐘。
5.3斷開泵和電路的連接，取下排油口的塞子，讓油流出來。
5.4重復(fù)上述步驟直到將泵清洗干凈。
6.塞上排油口的塞子，移掉支撐物，重新接上泵和電路及真空系統(tǒng)的連接。
7.裝上新油，直到油位達到MAX位置附近。
8.等幾分鐘直到油抽到泵中，需要的話，可再添油（需再關(guān)泵）。塞上加油孔的塞子。
四、檢查和清潔前置真空泵入口過濾器
1.旋開入口轉(zhuǎn)接器，取下‘O’ring，彈性擋圈和入口過濾器。
2.用適當?shù)娜芤呵逑慈肟谶^濾器，陰干入口過濾器。
3.重新裝上入口過濾器、彈性擋圈、‘O’ring和入口轉(zhuǎn)接器。
五、清潔前置真空泵載氣濾網(wǎng)
1.取下固定墊圈；
2.取下金屬絲網(wǎng)及濾頭元件；
3.用合適的溶劑清洗金屬絲網(wǎng)及濾頭元件，陰干后重新裝在泵上；
4.重新固定好固定墊圈。
六、清洗馬達風扇周圍
1.關(guān)掉泵，斷開其與電源的連接
2.利用干的布或毛刷清除電動機的風扇罩和圍欄的污染物。
注意:
如果電動機的風扇罩及周圍不保持干凈的話，進入馬達的氣流將受到限制從而導(dǎo)致泵過熱。
