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團體標準《真空表面處理工藝用離子源》正式發布
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2021-07-01  閱讀

來源:大眾新聞

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  【康沃真空網】6月28日,由廣東省真空學會歸口管理,中山市博頓光電科技有限公司發起并牽頭起草的《真空表面處理工藝用離子源》團體標準正式發布,在此之前,國內還沒有在真空表面處理領域的離子源團體標準。該標準對離子源的產品結構和要求進行了標準規范,可提升國產化真空裝備核心部件的行業規范化程度。

  行業權威專家評審認可,過程公開透明

  6月25日,廣東省真空學會在中山市組織專家召開團體標準評審會,評審專家組由沈陽真空技術研究所李玉英教授級高工擔任組長,廣東省真空學會劉彭義教授、東莞市德派精密機械有限公司錢鋒總監/教授、中國電子科技集團聯合微電子中心張斌部長/高工、中國科學技術大學邱克強副研究員等多位專家組成。

  與會專家聽取了標準工作組對《真空表面處理工藝用離子源》(報批稿)及編制工作介紹與說明,按照“利益公正、程序合法、材料齊全、內容合理、編寫規范”的原則,對標準報批稿及相關附件進行了逐條質詢與認真討論,認為該標準制定過程公開透明,報批稿送審材料齊全、條款內容完整,具有可操作性與技術指導性,符合團體標準管理規定,一致同意《真空表面處理工藝用離子源》(報批稿)通過技術審查。

  博頓牽頭,幾十位專家,關注度和參與度空前

  《真空表面處理工藝用離子源》團體標準是由廣東省真空學會歸口管理,由中山市博頓光電科技有限公司發起并牽頭起草的,在此之前,國內還沒有在真空表面處理領域的離子源團體標準。也是近年來參與和支持單位較多的一項團體標準。

  該團體標準在編制和修改過程中,有40余位行業專家參與了團標編寫和論證工作,也得到了近40家直接相關同行及產業上下游單位的關注和支持,關注度和參與程度空前。

  從發起到發布,歷時近一年

  該標準從策劃和發起到通過評審并正式發布歷時近一年:

  2020年8月:廣東省真空學會開始籌劃一系列團體標準編制事宜;

  2020年10月-2021年2月:博頓光電就自身專注的離子源領域團體標準,與真空學會及聯盟多家單位多次交流和討論;

  2021年3月:《真空表面處理工藝用離子源》團體標準由博頓光電正式發起和提出立項;

  2021年4月-2021年5月:博頓光電聯合省內外多家同行單位代表,組織多位行業專家共同進行團標編制;

  2021年5月20日,《真空表面處理工藝用離子源》團體標準征求意見稿發布,向國內公開進行為期1個月的意見收集;

  2021年6月25日,廣東省真空學會組織專家召開團體標準評審會。

  按照專家評審提出的意見,省真空學會與標準主編及參編單位進行了再次修改,《真空表面處理工藝用離子源》團體標準于2021年6月28正式發布。

  推動標準化,對行業發展意義重大

  近年來,博頓光電在不斷推出創新產品的同時,積極發起及參與行業相關標準的制定及標準化推廣工作,不斷助推行業標準化建設,促進行業規范化發展。

  未來,博頓光電將持續加大技術創新投入,繼續發揮在離子束微納加工領域的優勢,廣泛協同行業上下游持續推動國家和行業標準的制定及應用推廣,不斷助推產業高質量繁榮發展。

  《真空表面處理工藝用離子源》對真空表面處理工藝的科學性與經濟性均具有重要意義:

  可統一離子源的產品結構和要求,提升離子源的產業化效率;

  優化離子源在真空裝備中的安裝與使用,提升離子源的應用效率和成效;

  提升國產化真空裝備核心部件的行業規范化程度,促進國內真空行業及光電微納加工應用的可持續發展。