液環真空泵在工作時，在一定溫度下，當低壓處的液體壓力低于在該溫度下的汽化壓力(即飽和蒸汽壓)，液體開始汽化而產生氣泡，并隨液體進入高壓區時，氣泡破裂，周圍液體迅速填充原氣泡空穴，產生水力沖擊。這種氣泡的產生、發展和破裂現象就稱為汽蝕。
在液環真空泵的工作過程中，吸入區域的絕對壓力與被抽系統的絕對壓力是一致的。也就是說，被抽系統的真空度越高，吸入區域的真空度也越高。
液環真空泵需要用液體作為工作介質。每種液體在某一溫度下都有對應的飽和蒸汽壓。當吸入區域的絕對壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時，液體越接近沸騰狀態。這時，在吸入區域的工作液表面會產生大量的汽泡，由于液體在工作腔內產生的工作液蒸汽會占據部分工作腔的空間，泵對外的吸氣能力會有所下降。當吸入區域的壓力達到工作液的飽和蒸汽壓時，可以認為工作腔內全部充滿了工作液蒸汽，此時泵對外的吸氣能力接近于0，而此時泵的汽蝕現象也為嚴重。
如果工作液是水，水溫越高，泵的抽氣性能下降越多。
液環泵的汽蝕損壞和離心式水泵的汽蝕損壞原理是一樣的，都是在汽泡產生和破裂的部位，金屬表面出現點蝕現象，嚴重的會出現蜂窩狀損壞。如果真空泵葉輪在汽蝕部位有較大的殘余應力，還會引起應力釋放，產生裂紋。
由于泵汽蝕時，氣泡在高壓區連續發生突然破裂，以及伴隨的強烈水擊，而產生噪聲和振動。可以聽到像爆豆似的劈劈啪啪的聲音。實測結果表明，汽蝕引起的振動頻率范圍為600～25000Hz，壓力達49MPa。
如果上述氣泡在金屬表面上破裂，金屬表面將受到連續強烈的水擊，出現麻點，金屬晶粒松動并剝落而成蜂窩狀，甚至穿孔。汽蝕破壞除機械作用外，還伴隨有電解、化學腐蝕等多種復雜的作用。實際破壞情況表明，泵過流部件汽蝕破壞的部位，正是氣泡消失的地方。
液環真空泵汽蝕問題解決方法
汽蝕是由液體氣化導致的，液體分子逸出變成氣體分子，稱為“氣化”。真空泵產生汽蝕后不但對過流元件產生毀壞作用，還會產生噪聲和振動并導致泵的性能下降，嚴重時會使泵中液體中止，使其不能正常作業。液環真空泵在汽蝕狀態下短時間作業，會造成泵的噪聲、振動變大，乃至對泵造成損壞。
液環真空泵氣蝕問題解決方法：
1.適當降低工作液的溫度
在液環真空泵工作點為固定值的前提下，適當降低工作液的溫度可以達到防止汽蝕的效果。
2.正確選型：使真空泵運行在安全區域，提高選型的準確性
在選型階段，取舍真空泵吸入壓力及水的熱度時應盡量避開真空泵容易產生汽蝕的壓力范圍，即防止真空泵在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內運行，避免加重汽蝕的產生。
3.裝置汽蝕掩護管：安裝汽蝕保護管路或單向閥
裝置有汽蝕掩護管的真空泵，汽蝕內中中產生的氣泡在壓縮內中時破裂，從內部引入壓力較高的不凝氣體可以及時補充因氣泡破裂而涌現的空間，那樣能夠大大加重汽蝕對泵的危害并升高汽蝕導致的噪聲和振動。
4.配大氣噴射器
大氣噴射器作用是利用大氣壓絕對于真空泵的壓差，產生大氣射流，在噴射器內失掉比真空泵更低的抽吸壓力，從而消除真空泵的極限壓力，預防真空泵汽蝕，起到掩護真空泵的作用。因為大氣噴射器是為了預防真空泵汽蝕、掩護真空泵而設置的，正常設置有大氣噴射器的真空泵，抽吸構成的真空要好于沒有裝的。
5.使用更低的飽和蒸汽液體作為作業液
將作業液由原來的水改為變壓器油，其極限真空度因油的飽和蒸汽壓較低失去較高的晉升。在抽除凈化較大的氣體及在某些非凡作業場合時，真空泵的作業液也可用其它液體(可用丙醇、乙醇、二甲苯、苯胺、鹽酸安非拉酮等粘度較低的有機溶劑)，其極限真空度由作業液的飽和蒸汽壓決定。
6.泵的葉輪、圓盤等采用防汽蝕能力較強材料
不同的材料抗汽蝕威力有非常顯然的區別。影響材料抗剝蝕威力的成分很多，通常存在高硬度和高彈性的材料抗剝蝕威力較強。此外推薦低碳鉻鎳合金鋼，如13Cr4N作為在汽蝕狀態下作業的水力機械材料，存在較好的抗剝蝕性能。對葉輪涂層的步驟比較罕見，非金屬涂料涂敷采納環氧樹脂、尼龍粉、聚氨酯等。在流道內堆焊合金或噴涂合金預防汽蝕損壞也獲得了預防的目的，如不銹鋼焊絲堆焊法、不銹鋼板鑲焊修復法、合金粉末噴焊。
