【康沃真空網】干式真空泵的應用非常廣泛，主要有低壓化學氣相沉積在制備多晶硅、半導體蝕刻工藝。清潔、耐用、低噪等等都是干式真空泵的實用標簽。
但在實際的干式真空泵應用中，干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過程中，并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對顆粒氣體有良好耐受性，而是需要通過過濾設備來予以解決。
此外即使是對顆粒性氣體有良好耐受性的非接觸性干式真空泵，為防止意外，也需要盡量避免介質在真空泵內由于化反或氣固變相形成顆粒物。
一般來說, 在真空泵中出現顆粒物有三種情況。
① 有時泵內壓力增高,而引起氣固變態過程的發生；
② 在泵內氣體成分的反應生成物；
③ 抽氣過程混入的顆粒物。
在干式真空泵應用中泵內出現顆粒物的工況圖片
上圖就是顆粒物、可凝性氣體在真空泵內凝結后會對泵造成的各種損傷。對此，除常規的過濾裝置外，還有以下方法可以避免泵內顆粒物的產生：
1、適當提高泵溫。物質的升華、凝固是壓力與溫度的函數，隨物質不同各有變化。因此提高泵內溫度可以避免一些介質在泵內壓縮過程中發生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過程中生產的氯化鋁，在對應壓力下，其在80℃就會開始氣化，因此在將泵內溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。
2、降低會反應氣體的濃度。單位時間內氣體反應生成顆粒數量與氣體濃度相關，所以在干式真空泵抽取這類氣體的工藝中可以通過充入惰性氣體，減少反應氣體濃度來降低顆粒物的形成。這個方法也會用于泵內溫度冷卻，防止介質降解、聚合形成腐蝕性物質等，也可以防止介質達到著火極限等可能，如CVD工藝中可能發生的爆炸。
3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態的固體顆粒物沉積，使氣體的流動速度大于顆粒物沉積的臨界速度，就可保證顆粒物隨氣流輸送排出，防止沉積。具體的方法與第2點一樣，在不影響真空泵的極限壓力的前提下，就是充入適量氣體。
干式真空泵在使用一段后都是需要進行內部清理，這也是為了延長它的使用時間，保證使用效果。
進行內部清理的時候需要做的工作是：
1、刮去葉輪內外表面及密封環和軸承等處所積存的水垢及鐵銹等物，再用水或壓縮空氣清洗、吹凈。
2、清理殼體各接合表面上積存的油垢和鐵銹。
3、檢查管內是否暢通并清理水封管。
4、清理軸瓦及軸承，除去油垢，再清洗油圈及油面計等，滾珠軸承要用汽油清洗。
5、暫時不進行裝配的零、部件，在清洗后都要及時的涂油保護。
定期的進行干式真空泵的內部清理不僅是可以延長泵的使用壽命更重要的是可以減少企業損失，保證生產的順利進行。
