【康沃真空網(wǎng)】我們沉痛地公告：中國二次離子質(zhì)譜學(xué)開拓者、清華大學(xué)查良鎮(zhèn)教授于2022年12月24日凌晨在北京清華長庚醫(yī)院因病不幸去世，享年85歲。
查良鎮(zhèn)：清華大學(xué)電子工程系教授，博士生導(dǎo)師、政府津貼獲得者，《真空》雜志編委會副主任。查良鎮(zhèn)教授從事真空科學(xué)、質(zhì)譜學(xué)研究超過六十年, 取得過多項科研成果。近四十年來，主要致力于二次離子質(zhì)譜學(xué)研究與人才培養(yǎng)，大力推動二次離子質(zhì)譜（SIMS）技術(shù)在中國的應(yīng)用，是中國二次離子質(zhì)譜學(xué)術(shù)會議的創(chuàng)辦者。查良鎮(zhèn)教授還積極推進與國際二次離子質(zhì)譜學(xué)領(lǐng)域的深入交流，是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織二次離子質(zhì)譜標(biāo)準(zhǔn)制定的開拓者。
查良鎮(zhèn)教授生于1937年，1954年如愿考入清華大學(xué)無線電工程系，也成為第二屆電真空技術(shù)專業(yè)（管91班）的學(xué)生。1958年，查良鎮(zhèn)教授提前留校任教。
▲ 查良鎮(zhèn)教授參加校摩托車隊訓(xùn)練照
1961年開始，查良鎮(zhèn)、申功運帶領(lǐng)學(xué)生薛祖慶、戴平湖等，與沈陽教學(xué)儀器廠工程技術(shù)人員合作研制氦質(zhì)譜探漏儀，即利用磁質(zhì)譜分析的方法探測真空系統(tǒng)的微小漏孔，這種方法的檢測靈敏度是當(dāng)時最高的，是電子、航天、核技術(shù)等領(lǐng)域必不可少的工具。1963年11月研制成功生產(chǎn)樣機，命名為“6104型質(zhì)譜探漏儀”。1964年2月，“6104型質(zhì)譜探漏儀”通過了教育部鑒定，其主要技術(shù)指標(biāo)完全滿足設(shè)計要求，靈敏度達到了單極磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜探漏儀的國際先進水平。1964年6月16日，國家計劃委員會、國家經(jīng)濟委員會和國家科學(xué)技術(shù)委員會對1400多項全國工業(yè)新產(chǎn)品授獎，“6104型質(zhì)譜探漏儀”獲得一等獎。1964年8月6日，研究成果載入國家科學(xué)技術(shù)委員會發(fā)布的發(fā)明記錄。1965年5月，國家科學(xué)技術(shù)委員會出版了6104型質(zhì)譜探漏儀的科研報告。
▲ 1964年，查良鎮(zhèn)教授負(fù)責(zé)設(shè)計的質(zhì)譜探漏儀獲國家工業(yè)新產(chǎn)品一等獎
同期，查良鎮(zhèn)、薛祖慶、申功運等人與北京分析儀器廠合作研制成功ZhL-01型四極質(zhì)譜計，采用白金絲的玻璃型標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)。1964年，儀器研制成功，并參加全國儀器展覽會，成為世界最小的分壓強質(zhì)譜儀。
▲ ZhL-01型四極質(zhì)譜計
80年代初，國際真空領(lǐng)域中質(zhì)譜已由原先的真空檢漏發(fā)展為表面分析技術(shù)，查良鎮(zhèn)教授率領(lǐng)真空教研組與沈陽教學(xué)儀器廠合作，研制四極桿二次離子質(zhì)譜儀（Q-SIMS），并于1986年通過教育部組織的鑒定。
▲ 1998年查良鎮(zhèn)教授陪同外賓參觀清華大學(xué)
2011年，國家重大科研儀器設(shè)備研制專項啟動，研制地質(zhì)科學(xué)領(lǐng)域?qū)Ｓ玫娘w行時間二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS），探測單粒宇宙塵中宇宙成因核的豐度特征，旨在突破宇宙塵探測領(lǐng)域。TOF-SIMS是具有廣泛探測性、高分辨率、極靈敏的表面分析技術(shù)，可精確測定樣品表面元素的構(gòu)成，應(yīng)用十分廣泛。已經(jīng)退休的查良鎮(zhèn)教授受邀參加其中，這一項目成為近十年他所承擔(dān)的最重要工作。
作為國際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）二次離子質(zhì)譜專業(yè)委員會的專家，鑒于目前國際上普遍在使用的質(zhì)量分辨定義存在的不足，查良鎮(zhèn)教授在2012年ISO二次離子質(zhì)譜委員會上提議，重新定義質(zhì)量分辨，并修改相關(guān)術(shù)語。這一提議得到國際標(biāo)準(zhǔn)化委員會（ISO）TC201的認(rèn)可，并在2013年受國際標(biāo)準(zhǔn)化委員會（ISO）TC201的委托，組織中國專家團隊進行立項研究。通過查良鎮(zhèn)及其領(lǐng)導(dǎo)的專家團隊的努力和出色的工作，2017年國際標(biāo)準(zhǔn)化委員會（ISO）TC201對該項目正式立項，制定國際標(biāo)準(zhǔn)：Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for measurement of mass resolution（表面化學(xué)分析——二次離子質(zhì)譜——質(zhì)量分辨的測定方法）。
查良鎮(zhèn)教授榮獲的三項終身成就獎：
2005年全球華人二次離子質(zhì)譜學(xué)及相關(guān)領(lǐng)域研討會在臺灣新竹成功舉行，他獲得“全球華人二次離子質(zhì)譜終身成就獎”
2018年10月8-12日，第七屆中國二次離子質(zhì)譜學(xué)術(shù)會議在蘇州舉行，他被授予“中國二次離子質(zhì)譜終身成就獎”
榮獲“中國真空學(xué)會終身成就獎”
▲ 查良鎮(zhèn)教授榮獲的終身成就獎項
在真空及質(zhì)譜科技領(lǐng)域，查良鎮(zhèn)教授貢獻了一生。1979年10月，中國真空學(xué)會成立，并在蘭州召開第一屆全國會員代表大會。中國真空學(xué)會名譽理事孟昭英院士在查良鎮(zhèn)教授的陪同下參會。1981年，查良鎮(zhèn)教授發(fā)起成立中國真空學(xué)會質(zhì)譜分析和檢漏專業(yè)委員會，并擔(dān)任多屆主席，參加了這期間的所有真空檢漏工作。
查良鎮(zhèn)教授熱愛祖國，提攜后學(xué)，艱苦樸素，樂于助人，把畢生精力獻給了國家和科學(xué)的偉大事業(yè)。作為科研人員，他始終正確把握政治方向，促使自己的人生方向與國家需要緊密結(jié)合；作為導(dǎo)師，他為國家培養(yǎng)了眾多優(yōu)秀人才，大大促進了我國真空事業(yè)的發(fā)展；作為學(xué)者，他勤奮創(chuàng)新，專注于真空與質(zhì)譜領(lǐng)域的科教工作。查良鎮(zhèn)教授為真空科學(xué)事業(yè)奮斗終生的精神值得每一位教育和科研工作者學(xué)習(xí)踐行并傳承發(fā)揚。
按照查良鎮(zhèn)教授的臨終遺愿，其家人已將遺體捐獻，喪事一切從簡。查良鎮(zhèn)教授的去世使我們失去了一位尊敬的老師和學(xué)者，我們永遠(yuǎn)懷念他！
斯人已去，音容宛在。查良鎮(zhèn)教授一路走好！
