【康沃真空網】近日，江蘇省發展和改革委員會發布《2023年江蘇省重大項目清單》，蘇州中科科儀半導體核心裝備領域專用磁懸浮分子泵”項目成功入選江蘇省2023年重大項目名單。
磁懸浮分子泵產品是集成電路制造裝備的關鍵核心零部件，為刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導體制造關鍵工藝過程提供所需的高潔凈度超高真空環境。由于半導體產業鏈價值較高，對其生產工藝中的各項裝備可靠性要求極其嚴苛。磁懸浮分子泵作為關鍵核心零部件，不僅需滿足半導體制造裝備的各項工藝技術指標，還需要滿足其苛刻的安全性、可靠性要求。
作為半導體裝備核心零部件供應商，北京中科科儀股份有限公司憑借在真空行業的領軍地位和四十多年的技術積淀，成功研制了中國第一臺具有自主知識產權的磁懸浮分子泵，主導制定了中國磁懸浮分子泵行業標準，陸續推出系列磁懸浮分子泵產品，在工業領域取得了廣泛應用。同時，中科科儀聚焦半導體行業需求，持續研發推出定制化磁懸浮分子泵產品，助力解決集成電路裝備核心零部件“卡脖子”問題。
為貫徹中國科學院“率先行動”計劃，落實國科控股“聯動創新”綱要，2019年中科科儀在蘇州市高新區成立全資子公司蘇州中科科儀技術發展有限公司。三年的時間里，蘇州科儀面向經濟主戰場和國家重大需求，以“規模產業化”為核心，“創新驅動、需求牽引、自主可控”為關鍵，深入實施科技強國戰略，對標半導體行業核心零部件制造標準，持續完善生產過程控制體系，對接長三角一體化發展規劃，聚焦半導體關鍵裝備核心零部件規模產業化，著力提升科技成果轉化能力，在實現半導體制造領域國產化替代方面發揮重要作用。
惟其艱巨，所以偉大；惟其艱巨，更顯榮光。面臨當前全球新一輪科技革命和產業變革的歷史機遇，蘇州科儀將繼續聚焦解決國家高端科學儀器裝備與核心零部件關鍵領域“卡脖子”問題，發揮強鏈補鏈關鍵作用，全力推動科技成果轉化與規模產業化，為強化國家戰略科技力量、實現高水平科技自立自強貢獻力量。
