碲鎘汞分子束外延設備通過鑒定，達到國際領先水平
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2023-05-25 閱讀
【康沃真空網】昆明物理研究所為了滿足國家安全戰略需求，于2020年啟動研制碲鎘汞分子束外延設備項目，對MBE設備的真空度、溫度、束流等關鍵控制技術進行了攻關，成功研制了一臺4英寸襯底的碲鎘汞分子束外延設備。2023年5月15日，受昆明物理研究所委托，由上海市真空學會組織的專家評審組在復旦大學光電研究院召開了由昆明物理所研制的“碲鎘汞分子束外延設備”技術成果鑒定會。
鑒定委員會由華東師范大學教授/亞太材料科學院孫卓院士、復旦大學微電子學院盧紅亮教授、上海大學平板顯示工程技術研究中心李喜峰教授，復旦大學光電研究院莫曉亮副研究員和上海市真空學會韓建華高級工程師等5名專家組成。鑒定委員會聽取了昆明物理研究所王善力研究員團隊研制的完成情況匯報，觀看了設備的視頻錄像。審閱了研制總結報告、相關應用證明、階段驗收表、驗收規程、先進性說明、市場情況分析等報告資料。
經鑒定委員會討論認為；碲鎘汞分子束外延設備的研制成功打破了該設備國外對中國的禁運，實現了國內類似設備的首臺銷售，經濟效益顯著。可滿足未來國內對MBE設備的需求，填補了云南省在此類設備的空白，有力地支持了國內半導體設備的發展。該碲鎘汞分子束外延設備技術指標達到設計要求，設備研制水平處于國內一流，達到國際先進水平。建議該設備在真空行業內加強推廣，為實現科技自立自強多作貢獻。
