【康沃真空網】2022年8月5日,真空技術行業中國主導制定的ISO 24477:2022正式發布實施,是我國真空技術行業在真空測量裝置領域首項主導制定的ISO標準。
該標準由我國蘭州空間技術物理研究所牽頭,東北大學、蘭州文理學院、沈陽真空技術研究所有限公司、北京衛星環境工程研究所、中國計量科學研究院亦參與完成了標準的制定工作。
標準范圍
該標準定義了磁懸浮轉子真空計的相關術語,規定了在應用過程中需要給定的參數和詳細的校準步驟,以及需要考慮的不確定度分量。
在校準磁懸浮轉子真空計或將其用作標準真空計時,該標準是對ISO 3567《真空計 與標準真空計直接比較校準》和ISO 27893《真空技術 真空計 與標準真空計直接比較校準結果的不確定度評定》的進一步補充。
目的和意義
在全球認可和非認可的校準服務中,磁懸浮轉子真空計被廣泛用作標準真空計。
因為ISO 3567和 ISO 27893未能全部覆蓋磁懸浮轉子真空計的校準過程及其作為標準真空計時的使用要求,所以制定本標準以規范如何正確校準磁懸浮轉子真空計,以及如何用作標準真空計。
這對于在所有應用領域進行的真空工藝過程,尤其是對于半導體工業、光伏、鍍膜工業、航空航天、核工業等高真空應用領域,能夠實現真空量值溯源具有舉足輕重的意義。
該標準的發布實施,可為磁懸浮轉子真空計生產企業、半導體工業等應用領域的生產企業、全球真空領域認可校準實驗室和擁有二級傳遞標準的國家計量院提供了技術支撐和參照標準。