【康沃真空網】磁懸浮分子泵在使用的過程當中出現故障時,應該如何拆卸、維修?
當泵出現故障必須拆卸時,應:
(1)確定泵處在停機狀態,內外氣壓平衡,并切斷電源和拆卸連接線纜。
(2)如果泵抽除氣體是腐蝕性氣體,必須確認真空腔、泵內、前級管道內腐蝕性氣體已被充分沖洗干凈,泵內沉積物同樣對人體有害,必要時,拆卸人員應戴防毒面具和手套。分子泵卸下后,應盡快除去沉積物,以防止沉積物與潮濕空氣反應生成揮發物或對泵有腐蝕的酸、堿等。
(3)泵卸下后,立即用潔凈的塑料袋密封包裝并封口,保存要求參照磁懸浮分子泵說明書中長期停用時的維護、保養及貯存條件。
(4)如需返廠維護,還需退回相應部件及配件。