主要是因為它具有高彈性，較高的耐磨性和適宜的機械強度，
并且具有在常溫下密封可靠，
可反復拆卸安裝，易于加工，價格低廉等優點。
缺點是不能承受高溫和低溫的環境，
與金屬密封材料相比有較大的出氣率和凈透率，
通常只能用于低真空和高真空系統中。
圖片
用于真空密封的橡膠材料，要求具有光滑表面，無劃傷、無裂紋、具有低的出氣率、揮發率和透氣率，良好的耐熱性、耐油性、抗老化能力，耐壓縮變形（其值小于35％），和適宜的壓力松弛系數（不小于0.65）。常用于真空密封的橡膠材料有下列幾種：
（1）天然橡膠。天然橡膠透氣率很大，耐油性、抗老化性較差，使用溫度在100℃以下，只用于粗真空和低真空密封。
（2）丁基橡膠。丁基橡膠的透氣率很小，可用于10-5Pa的真空密封。在超高真空環境下材料出現升華現象，其質量損失可達300％，因此不適于10-6Pa以上的超高真空。
（3）丁腈橡膠。丁腈橡膠是耐油性和其他各種性能都較好的一種橡膠，在高真空范圍內廣泛用于烘烤溫度150℃以下的各類真空密封。
丁腈橡膠是耐油合成橡膠，有100多個牌號，品種主要是低溫聚合丁腈橡膠、易加工的軟橡膠及改性丁腈膠。丁腈18-26-40是按丙烯腈含量多少而分，丙烯腈含量越高，耐油性、耐水性越好；含量越低，耐寒性越好，彈性也隨之增加。
丁腈橡膠具有優異的耐油性、耐水性、耐熱性和較低的透氣性，壓縮永久變形小，使用壽命長、價格便宜，在高真空范圍內廣泛用于烘烤溫度在150℃以下的各類真空密封中。
（4）氟橡膠。氟橡膠是一種耐高溫、耐各種介質的密封材料。各種氣體在維通（Viton)型氟橡膠中有較小的擴散速度和較大的溶解度，透氣性很小，與丁基橡膠相當，在高溫、真空中出氣率很低（在2.6x10-7Pa的失重為2.3％），可用于10-5\sim10-7Pa的真空密封；采用雙10-8Pa的超高真空。缺點是價格O形圈密封結構，烘烤到200℃，并加上冷卻措施，可達到昂貴，通常只限于需要烘烤的高真空及超高真空系統中。
（5）全氟醚橡膠。全氟醚橡膠簡稱FFKM是一種高性能的密封材料，具有優異的耐化學性、耐高溫性和機械性能。全氟醚橡膠的應用領域非常廣泛，主要包括航空航天、國防軍工、汽車工業、石油工業、精細化工和醫藥行業、半導體工業、新能源汽車和氫能儲存等。全氟醚橡膠憑借其優異的耐化學性、耐高溫性和機械性能，在多個高要求的工業領域中發揮著重要作用。
目前我們的真空閥門主要運用的是丁晴橡膠和氟橡膠兩種密封材料。如GDQ高真空擋板閥，適用范圍真空度105~1.3*10-4pa閥門漏率≤1.3*10-5Pa.L/S，丁晴橡膠的介質溫度為-25℃~80℃、氟橡膠的介質溫度為-30℃~150℃。滿足高真空系統需求。
