【康沃真空網(wǎng)】真空計(jì)校準(zhǔn)在真空測(cè)量領(lǐng)域占據(jù)著至關(guān)重要的地位，它是整個(gè)真空測(cè)量研究與發(fā)展的關(guān)鍵支撐工具。通過校準(zhǔn)，不僅能將現(xiàn)有的相對(duì)真空計(jì)統(tǒng)一于可靠的標(biāo)準(zhǔn)之下，還能對(duì)處于發(fā)展階段的真空計(jì)性能展開深入研究。所謂“真空計(jì)校準(zhǔn)”，其實(shí)質(zhì)是對(duì)相對(duì)真空計(jì)進(jìn)行“刻度”操作。需要注意的是，真空計(jì)刻度是在特定條件下針對(duì)特定種類氣體開展的，由此獲得校準(zhǔn)系數(shù)或刻度曲線。一旦氣體種類改變或者工作條件發(fā)生變化，原有的校準(zhǔn)曲線便不再適用，必須重新校準(zhǔn)。即使是同一臺(tái)測(cè)量?jī)x器，若更換了規(guī)管，其校準(zhǔn)曲線也會(huì)相應(yīng)改變。由此可見，對(duì)相對(duì)真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)不僅非常必要，而且需要定期開展，否則可能會(huì)產(chǎn)生超出允許范圍的測(cè)量誤差。校準(zhǔn)是針對(duì)真空計(jì)整體而言的，既涵蓋了作為一次儀表的真空規(guī)管，也包括作為二次儀表的電子線路。通常情況下，二者會(huì)一起進(jìn)行校準(zhǔn)，不過分別對(duì)真空計(jì)規(guī)管和電子線路進(jìn)行校準(zhǔn)是更為理想的方式。
01真空計(jì)校準(zhǔn)的含義
真空計(jì)校準(zhǔn)需要具備標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)和校準(zhǔn)系統(tǒng)，并通過特定方法來實(shí)現(xiàn)。
真空標(biāo)準(zhǔn)包括絕對(duì)真空計(jì)、標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)真空計(jì)（或副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)）以及絕對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)。
所有的絕對(duì)真空計(jì)都可充當(dāng)真空標(biāo)準(zhǔn)。以絕對(duì)真空計(jì)為基準(zhǔn)，通過對(duì)壓力衰減后精確計(jì)算出的再生低壓力作為標(biāo)準(zhǔn)的真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)被稱為絕對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)。
例如，膨脹法校準(zhǔn)系統(tǒng)運(yùn)用靜力熱平衡原理，其理論依據(jù)是理想氣體的玻意耳定律，這一系統(tǒng)將U型管壓力計(jì)的校準(zhǔn)下限延伸至高真空（10??Pa）。穩(wěn)定性和精度較高的真空計(jì)在經(jīng)過校準(zhǔn)后，可作為次級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，用于對(duì)工作真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)，此類真空計(jì)被稱作副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)。在計(jì)量學(xué)范疇內(nèi)，標(biāo)準(zhǔn)是按照精度等級(jí)排列而成的體系。
02真空計(jì)校準(zhǔn)的實(shí)現(xiàn)1990年5月1日，國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)并開始實(shí)施“真空計(jì)量器具檢定系統(tǒng)”（JJG2022-89）這一重要標(biāo)準(zhǔn)。
隨著現(xiàn)代科技的飛速發(fā)展，真空技術(shù)領(lǐng)域也取得了顯著的進(jìn)步。當(dāng)前，真空獲得以及真空測(cè)量的范圍已經(jīng)有了極大的拓展，從原本的大氣壓（10?Pa）延伸到了極高真空（<10?1?Pa）這樣一個(gè)極為寬廣的區(qū)間。
然而，在實(shí)際的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究活動(dòng)中，經(jīng)過大量實(shí)踐和統(tǒng)計(jì)發(fā)現(xiàn)，人們所涉及的壓力范圍主要集中在10??～10?Pa之間。在這個(gè)特定的壓力區(qū)間內(nèi)，為了保證真空度量值的準(zhǔn)確性和一致性，“真空計(jì)量器具檢定系統(tǒng)”應(yīng)運(yùn)而生。
這個(gè)檢定系統(tǒng)有著至關(guān)重要的作用。它是保障真空度量值準(zhǔn)確可靠的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，通過它能夠?qū)崿F(xiàn)真空度量值在不同環(huán)節(jié)和設(shè)備之間的有效傳遞。具體而言，在真空計(jì)量領(lǐng)域，各級(jí)真空計(jì)時(shí)器具的準(zhǔn)確性對(duì)于整個(gè)測(cè)量工作至關(guān)重要。檢定系統(tǒng)就像是一把精準(zhǔn)的尺子，為這些真空計(jì)時(shí)器具提供了統(tǒng)一的衡量標(biāo)準(zhǔn)，能夠?qū)Ω骷?jí)真空計(jì)時(shí)器具進(jìn)行嚴(yán)格的檢定。而且需要強(qiáng)調(diào)的是，該檢定系統(tǒng)主要是針對(duì)10??～10?Pa這一特定壓力范圍的。在這個(gè)范圍內(nèi)，無論是計(jì)量部門用于校準(zhǔn)和檢測(cè)的真空標(biāo)準(zhǔn)裝置，還是科研部門在實(shí)驗(yàn)過程中使用的真空計(jì)，亦或是工業(yè)部門在生產(chǎn)環(huán)節(jié)涉及的真空計(jì)量設(shè)備，都需要依據(jù)這個(gè)檢定系統(tǒng)來進(jìn)行檢定，以此確保整個(gè)工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究過程中真空度量值的精確性和可靠性，避免因真空計(jì)量不準(zhǔn)確而導(dǎo)致的各種問題，如實(shí)驗(yàn)結(jié)果偏差、生產(chǎn)質(zhì)量不穩(wěn)定等。
