手把手教你如何測(cè)量真空漏率？
【康沃真空網(wǎng)】1、加壓條件下容器漏率的測(cè)定在加壓條件下測(cè)童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導(dǎo)體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質(zhì)譜檢漏儀法等。
2、真空條件下容器漏率的測(cè)定①利用接人真空容器的真空規(guī)、離子泵及殘氣分析質(zhì)譜計(jì)來測(cè)定容器的漏率。②可以選用流盆測(cè)量、壓力測(cè)量、鹵素檢漏儀以及氮質(zhì)譜檢漏儀等方法來測(cè)全漏率。
3、密封件的無損檢漏
①盡量利用密封件上可用來指示密封器件內(nèi)部壓力和示漏物質(zhì)分壓力的規(guī)管和殘氣分析質(zhì)譜計(jì)等進(jìn)行檢漏。
②有些原來不是測(cè)量壓力的裝置，如:電子管、顯像管等，若改換饋電方式，將其電極接成電離規(guī)的方式，測(cè)全出管內(nèi)離子流的變化，便可知管內(nèi)壓力的變化率。大批量生產(chǎn)這類器件時(shí)，可以通過校準(zhǔn)的方法把離子流的變化率直接換算成漏率。
③如果密封件內(nèi)部具有可作為示漏的物質(zhì)時(shí)，采用動(dòng)態(tài)法或靜態(tài)法對(duì)漏到外面的示漏物質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，就可測(cè)出漏孔來。通常這類密封件內(nèi)部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時(shí)的壓力為高。因此，檢漏靈敏度高，費(fèi)用低。
④背壓法檢漏適用于成批生產(chǎn)小型密封件時(shí)的檢漏;可以使用鹵素檢漏儀，氮質(zhì)譜檢漏儀，放射性同位素等檢漏方法和儀器。
