1、真空泵主要技術性能(真空度等)達到設計要求或滿足工藝要求，附屬設備(冷凝器等)齊全；沒備運轉平穩，聲響正常，無過熱現象，封閉良好。

　　

　　2、旋片式真空泵設備潤滑系統完好，潤滑油質符合規定要求，并定期進行檢查，換油。

　　

　　3、各種儀表(如真空表等)指示值正確，并定期進行校驗；各閥門啟閉靈活、密封良好，無泄漏現象；管道無泄漏，并定期進行檢查。

　　

　　4、電動機配備合理，運行正常(溫升和聲響正常)，電氣線路安全可靠，有接地保護措施，電氣裝置(控制柜)可靠，電氣儀表指示正確；安全防護裝置齊全可。

　　

　　5、設備及冷卻系統設施整潔，無銹蝕。

　　

　　6、水環式真空泵冷卻系統運行正常，冷卻裝置完好，排水溫度不超過規定要求，應有斷水保護裝置。一般來說所用的工作液都是水。作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體，這樣就造成了水環的溫度升高。水環的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水，以使水環泵的工作溫度能夠維持恒定。在多數的水環式真空泵中，其工作溫度約為15-20℃，它取決于所補充水的溫度。實際上，水環泵的極限壓力并不十分重要，因為不同的液體，在壓力低于50-60hPa時，會發生氣蝕現象，泵的部件會遭到損壞。當泵接近極限壓力時，抽速很低，泵入口處的水開始沸騰。當轉至泵的出口時，形成的氣泡開始破裂。這樣就會產生很大的噪聲，同時泵的驅動輪和泵腔等部件被逐漸破壞。這種現象通常稱作氣蝕現象。一旦氣蝕現象發生，就要通過小閥引入少量的新鮮空氣。在這種情況下，在入口官道上開個小孔，以便定量地加入些新鮮的其他，如果使用氣體噴射器，氣蝕現象就不會產生了。