概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。
因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。
為達(dá)到z*佳配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：
1、確定工作真空范圍
s*先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。
2、確定極限真空度
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的z*佳工作真空度。
一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。
3、主真空泵的選擇計(jì)算
s=2.303v/tlog(p1/p2)
其中：s為真空泵抽氣速率、v為真空室容積、t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間、p1為初始真空度、p2為要求真空度。
4、真空容積
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。
考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
5、被抽氣體種類與抽氣量
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與真空泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。
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