1、氦質譜檢漏
該技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在檢漏中得到了廣泛應用。
2、真空封泥檢測法
將真空泥逐個封住可疑漏點,注意觀察真空度的變化,假如貼上真空封泥真空度提升很快,取掉有明顯下降,說明這是一個漏點。這種方法在實際應用中,采用的比較少。
3、真空計檢漏法
選用適當的氣體或液體做示漏物質,這些真空計便成了探測器,一般鍍膜機上都有真空計,使用起來很方便,也是常用到的一種檢漏方法。
4、高頻火花檢漏
這種方法僅適用于玻璃真空系統。先將系統抽成真空,高頻火花檢漏儀的火花端沿著玻璃表面移動,火花集中成束形成亮點處即是漏孔位置。
選擇檢漏方法的原則:
1、主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據,由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合,為找到一個單個漏孔,所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1~2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11W,而必須選用的檢漏靈敏度為10-12~10-13W;
2、根據具體被檢對象,所用方法簡便易行、經濟實用。