1、是否有重大操作或發生異常情況：了解機組一些近期重要操作或者事故處理，判斷是否可能損害與真空系統相關的設備，影響真空。
2、凝結水含氧量情況：了解凝結水含氧量，如果熱井水側漏入空氣將嚴重影響凝結水含氧量，致使凝結水水質惡化。
3、雙背壓凝汽器真空比較：對于雙背壓凝汽器，通過隔離方式，如果隔離后發現某側凝汽器真空值低，排氣溫度較高，初步劃定泄漏范圍。
4、凝汽器兩側端差比較：通過凝汽器兩側端差，判斷疏水擴容器運行情況，如果存在泄漏端差異常增大。
5、手動操作與凝汽器相連閥門開度：了解汽輪機疏水系統閥門狀態，就地操作與凝汽器相連正壓蒸汽管路閥門，操作后正壓蒸汽充滿負壓側管道，判斷閥后管道是否存在漏點。
6、氦氣檢漏分析儀與超聲波檢漏儀：使用真空檢漏設備初步判斷具體漏點。
二、 現場真空查漏檢查實例
某電廠350MW超臨界燃煤機組，真空系統設備配置為：3臺真空泵+1臺射水抽氣器。
超速試驗前，真空嚴密性試驗結果為100kPa/min，正常運行狀態為1臺真空泵+1臺射水抽氣器。而超速試驗后，真空嚴密性嚴重下降，需要運行2臺真空泵+1臺射水抽氣器才能維持系統真空，且真空泵電流較大，具體數據為：真空值93.47 kPa、排汽溫度39.7℃、真空泵電流130A。
檢漏人員現場了解到，此次真空突然惡化之間，只是進行了汽輪機超速試驗。由于該試驗對機組擾動較大，初步判斷真空嚴密性下降的原因為汽輪機軸封間隙磨損變大、凝汽器本體受損或著與其相關系統管道出現裂痕。
按照分析結果，使用氦氣檢漏分析儀從汽輪機平臺開始至零米檢查，主要位置檢查結果如下：
很顯然，凝汽器喉部存在較大漏點。就地實際檢查發現，凝汽器喉部處存在30厘米長的裂痕。
對漏點處理后，凝汽器真空明顯好轉，真空嚴密性試驗合格，真空系統正常運行狀態為1臺真空泵+1臺射水抽氣器。具體數據為：真空值95.37 kPa、排汽溫度34.2℃、真空泵電流113.2A。
某廠1#機真空嚴密性試驗不合格，高于0.4KPa/min。以下為查漏點及運行中的檢查方法。
