【康沃真空網(wǎng)】影響擴散泵性能的主要因素
(1)擴散泵油蒸氣的返流,解決的方法是在真空系統(tǒng)上加裝冷阱,能有效地防止油蒸氣的返流。
(2)氣體分子的反擴散,通過在高真空機組中增加羅茨泵或雙機械泵,增大前級泵的抽速,降低擴散泵出氣口的壓力,這樣不僅可減少氣體分子的反擴散,而且還能減少油蒸氣的返流。
(3)擴散泵油的裂化分解,采用合格的擴散泵油防止裂化分解。
(4)擴散泵臟化,污染物留在泵內(nèi)重復循環(huán),應對擴散泵進行清洗,并更換泵油。
使用注意事項
(1)定期檢查泵的性能,更換符合要求的擴散泵油,參見使用說明書。
(2)擴散泵加熱前及工作過程中冷卻水必須保證暢通,停止加熱后,必須保證泵油已完全冷卻后才能關閉冷卻水,具體冷卻到什么溫度才關閉冷卻水,詳見說明書。
(3)擴散泵停止工作時,泵內(nèi)應保持真空狀態(tài),避免放人大氣造成泵油氧化,以延長泵油壽命。
(4)只有達到擴散泵的前級真空度時,才能進行加熱,否則會加速泵油的氧化。
(5)被抽的應當是干燥、無腐蝕、無灰塵氣體。
(6)如果擴散泵正常工作時真空度突然下降,應首先檢查加熱器是否斷路,再檢查是否存在漏點。
(7)新安裝的擴散泵達不到極限真空度,應檢查密封是否可靠,裝配是否正確。
(8)擴散泵工作過程中,應注意前級機械泵的工作情況,因為前級機械泵變壞后,直接影響油擴散泵的正常工作。
(9)要求機械泵的極限壓力應比擴散泵前級壓力低一個數(shù)量級。
保養(yǎng)注意事項
(1)油擴散泵安裝或維修時應垂直放置,使泵芯部件處于正常工作狀態(tài)。
(2)清洗零件及泵腔時,先用航空汽油清洗,然后用絲綢藏乙醒或丙酮進行擦洗,并置于80-100℃下烘干或用電吹風吹干。
(3)清洗完畢后,按順序進行裝配,注意保持泵芯與泵底垂直,并與泵腔同心,各級噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。
(4)連接密封處,橡膠密封應可靠。
(5)擴散泵如暫時不用,保管期問應在室溫保持真空狀態(tài),以免泵油污染和零件腐蝕,并將冷卻水套內(nèi)的剩水吹凈。
(6)在長期工作后,泵性能逐漸變壞,應檢查油量是否減少或氧化,必要時增添油量,更換新油時要清洗后烘干。
