滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵?；y泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高(10 4 Pa)、抽氣量大、能在較惡劣環境下連續工作，經久耐用等突出優點，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業得到廣泛的應用。

　　目前真空行業中廣泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。旋片泵在較臟的工作條件下，旋片泵在轉子槽中卡住。盡管滑閥泵對這一缺點有一定程度的克服，但由于滑閥的質心相對回轉中心的距離不是定值，雖然在結構上采取了一些動平衡措施，但尚不能達到完全平衡，故振動難以完全消除。尤其泵的容量越大，振動亦更大。同時上述兩種泵，特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。