活塞式無油干式機(jī)械真空泵技術(shù)要求不太復(fù)雜，容易制造。該泵的外形呈扁方形，是由四個(gè)階梯形活塞及四個(gè)階梯形氣缸組成。與電機(jī)直聯(lián)的軸通過四根連桿帶動(dòng)四個(gè)活塞。活塞的背面空間由次級(jí)活塞抽氣，以減少泄漏和降低極限壓力。每個(gè)氣缸都有進(jìn)氣閥與排氣閥。四個(gè)活塞組成三個(gè)壓縮級(jí)，為了增加抽速，兩個(gè)活塞是并聯(lián)的，為了便于泵在大氣壓力下的啟動(dòng)，設(shè)置了輔助排氣閥，當(dāng)活塞的排氣壓力高于大氣壓力時(shí)，有一部分氣體通過閥排入大氣，當(dāng)其排氣壓力低于大氣壓力時(shí)，則排出氣體依次進(jìn)入第三個(gè)、第四個(gè)氣缸壓縮后排出泵外。泵的壓縮比可達(dá)到105，泵的極限壓力可達(dá)1.3Pa。泵氣缸的內(nèi)表面襯有聚合材料，以降低摩擦系數(shù)與磨損。這種泵的功率消耗低，散熱條件較好，不需要冷卻水。