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什么是氣體捕集式真空泵?

氣體捕集式真空是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵內表面上的真空泵,可分以下幾種型式。
  1.吸附泵,它是依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。例如分子篩吸附泵。
  2.吸氣劑泵,它是一種利用吸氣劑以化學方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。例如鈦升華泵和鋯鋁吸氣泵屬于這種類型。

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