單晶爐滑閥真空泵的概述

2010-10-25 14:17:56 閱讀()

來源:浙江求是真空設備制造有限公司

目前國內單晶爐、多晶爐配用真空泵以滑閥真空泵2H120、滑閥真空泵2H150、滑閥真空泵2H70居多。其中清理單晶爐仍然使用水環真空泵2SK-6B型號。多晶硅爐配套真空泵可根據用戶情況定制各類真空機組。
　　單晶爐滑閥真空泵2H70 主要性能參數：
　　極限真空：6X10-2
　　抽氣速率：70L/S
　　配用功率：7.5KW
　　進氣口徑80mm
　　排氣口徑76mm
　　水環真空泵2SK-6B主要性能參數：
　　極限真空：3300Pa
　　抽氣速率：6m3/min
　　進排氣口徑：50mm
　　配用功率：11KW