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真空系統和高真空系統的簡單構架

真空技術的應用中,真空的獲得和真空度的測量是兩個z*重要的方面。  
  
  一個真空系統,必須要有真空獲得的設備和真空度的測量儀器。目前常用的真空獲得設備主要有旋片式真空、水環式真空尖、滑閥式真空泵、油擴散泵、渦輪分子泵、離子濺射泵、升華泵等。真空測量儀器主要有U型真空計、熱傳導真空計、電離真空計等。隨著電子技術和計算機技術的發展,各種真空獲得設備向高抽速、高極限真空、無污染方向發展。各種真空測量設備與微型計算機相結合,具有數字顯示、數據打印、自動監控和自動切換量程等功能。  
  
  什么是真空系統?用一句話來概括就是用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統。真空系統設計的基本內容:是根據生產工藝流程或真空實驗對真空度的要求,來選擇適當的真空系統設計方案。先要確定真空度的使用要求、真空容器容量、抽氣速率、所抽氣體性質四個指標,然后再根據這四個指標進行選、配真空泵;z*后確定導管、閥門、捕集器、真空測量元件等,進行合理配置,劃出真空系統裝配圖和零部件圖。  
  
  真空系統的簡單構架  
  
  真空應用設備種類繁多,但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統,以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說:一個真空處理用的容器,用管道和閥門將它與真空泵連接起來,當真空泵對容器進行抽空時,容器上要有真空測量裝置,這就構成了一個z*簡單的真空抽氣系統。  
  
  z*簡單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度。當需要獲得高真空范圍內的真空度時,通常在真空系統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,這樣就構成了一個較完善的高真空系統。

標簽: 真空系統高真空系統真空  

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