基本概述

　　

　　簡介

　　

　　真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)莘e氣體輸送泵，真空泵須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感，廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

　　

　　發(fā)展

　　

　　真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近 年來， 伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)展。

　　

　　據(jù)《2013-2017年中國真空泵制造行業(yè)深度調(diào)研與投資預(yù)測分析報告》數(shù)據(jù)顯示[1]

　　

　　，在我國真空泵市場上，外國企業(yè)的進(jìn)入與成功已成為不可爭辯的事實(shí)，日本真空各地布點(diǎn)，德國萊寶在中國擴(kuò)建，美國泰悉爾集團(tuán)、韓國優(yōu)成等國際著名廠家也紛紛尋找伙伴在中國建制造基地。他們的胃口很大，勢有鯨吞真空泵市場之勢。近 年來，國內(nèi)雖然有一些企業(yè)逐漸崛起，在真空泵市場上占據(jù)了較為領(lǐng)先的地位，但是多數(shù)企業(yè)研發(fā)能力差，與國外同行相比，高端產(chǎn)品在技術(shù)上仍處于劣勢。

　　

　　特點(diǎn)

　　

　　(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

　　

　　(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;

　　

　　(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;

　　

　　(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

　　

　　(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差;

　　

　　(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

　　

　　結(jié)構(gòu)

　　

　　(1)泵總體結(jié)構(gòu)型式

　　

　　真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

　　

　　立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

　　

　　臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

　　

　　泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機(jī)構(gòu)也相對復(fù)雜。

　　

　　(2)泵的傳動方式

　　

　　真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機(jī)端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動方式的z*大缺點(diǎn)是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便;b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動機(jī)和齒輪箱一側(cè)。

　　

　　分類

　　

　　按其工作原理基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式螺桿真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴(kuò)散泵等。氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等

　　

　　氣體傳輸泵

　　

　　氣體傳輸泵是一種能是氣體不斷的吸入和排出，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：

　　

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