往復式真空泵（又稱活塞式真空泵）的極限真空，單級為4×102Pa—103Pa，雙級可達1Pa，抽速范圍45m3 /h～20000m3/h，用于從密封的容器中抽除氣體。被抽氣體溫度不超過35℃。如果加上輔助設備，如冷凍器，也可以抽蒸氣。往復式真空泵的排氣量較大，多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空蒸發、真空濃縮、真空結晶、真空干燥、真空過濾及混凝土的真空作業等方面抽除氣體。
　　往復式真空泵對于抽除腐蝕性的氣體或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進口處必須加裝過濾器。
　　無油往復真空泵由于采用自潤滑材料的活塞環、密封環，氣缸內無須加油潤滑；在氣缸與機體之間加設隔油腔（其長度大于一個行程長度），阻止機體內潤滑油沿活塞桿漏人氣缸，所以該泵對被抽系統無污染。無油往復真空泵有立式和臥式兩種結構。
　　往復式真空泵的應用范圍是：①需要清潔真空的環境中；②在氣體需要回收時，可在充氣腔充人回收氣體，以保證氣體的純度；③當抽除易燃易爆氣體時，可向隔離腔充入惰性氣體，使空氣（助燃劑）無法漏入氣缸，避免事故發生。