上海真空泵廠、成都國投南光機器廠生產的S型、SP型兩種規格的鈦球升華泵,采用熱輻射球式鈦升華器做泵芯,泵壁水冷,靠熱絲輻射加熱鈦球,具有蒸發面積大、升華均勻、操作方便、壽命長等特點。其主要技術性能參數見表5-2。
(2)鈦鉬合金絲式鈦升華器
①北京中科科儀發展有限責任公司生產的TSB型鈦升華器泵芯,主要由裝有鈦鉬絲的支座構成。鈦鉬絲用螺釘固定,便于移動和更換,芯柱安裝在陶瓷密封法蘭上,可烘烤至400℃。
外型尺寸圖如圖5-11、5-12所示。
②中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司生產的TSB型鈦升華泵芯外形及供電電
源參數見表5-3。
鈦升華泵芯的規格如下:
每根鈦鉬絲的質量/g 3.84
每個泵芯中的鈦鉬絲根數/根 3
每根鈦鉬絲的含鈦量/g 3.84×85%
工作壓力范圍/Pa 2~1×10-9
TSB型鈦升華泵其每平方厘米鈦升華表面對各種氣體的抽速見表5-4。
TSBD型鈦升華泵電源可方便有效地控制泵的工作。它分“手動模式”和“自動模式”兩種。對前者,操作者可根據系統真空度,任意調節鈦絲加熱電流(此電流值指示在面板的電流表上)和加熱時間。對后者,操作者只要旋轉面板上的時間繼電器,確定好鈦鉬絲加熱的間隔時間和加熱電流值,控制電源就可連續工作下去,自動控制鈦絲的升華量。其技術規格見表5-5。
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