本標準規定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數。適用于二電位的二極型和三極型濺射離子泵。
　　
　　本標準使用的術語應符合GB3163的規定。使用的符號、代號應符合JB/T7673 - 95。
　　
　　(1)型式
　　
　　①本標準把二電位普通型式的濺射離子泵分為二極型泵和三極型泵。
　　
　　二極型泵的抽氣單元由陽極筒和陰極板組成，陽極接數千伏正電位，陰極連同泵體接地。
　　
　　三極型泵的抽氣單元由陽極、陰極和收集極組成。陽極和收集極連同泵體接地，陰極接數千伏負電位。
　　
　　②型號表示方法須符合JB/T7673 - 95真空泵型號編制方法。
　　
　　(2)基本參數
　　
　　①二極型濺射離子泵的基本參數應符合表5-7的規定。 　　
　　②三極型濺射離子泵的基本參數應符合表5-8的規定。