油擴散噴射真空泵又稱油增壓泵。其工作壓力范圍為10Pa—10 ^-2Pa，在此工作壓力范圍內油擴散噴射真空泵具有較大的抽速和z*大出口壓力。通常它比同口徑的油擴散泵的抽氣量高4倍～20倍，加熱功率高2倍~5倍。按其工作范圍，它介于油封機械泵(1×10^5Pa—10^ -2Pa)和油擴散泵(10 ^-2Pa—10^-6Pa)的工作壓力范圍之間。該泵的優點是在1Pa—10^-1Pa壓力范圍內有較大的抽速，可以彌補油封機械泵和高真空油擴散泵在此區間抽速較小的缺點(因為在10^-1Pa低壓力范圍油封機械泵的抽速有明顯的降低，而大多數高真空油擴散泵在此壓力范圍內的抽速也較小)。此外，它的z*大反壓力較油擴散泵高(大于10^2Pa)，所以油擴散噴射泵除可用作真空系統主泵使用之外，還可以用到油擴散泵的出口處來增加其出口壓力，在排除一定量的氣體時，能相對地減少所配置的前級泵的容量，使前級機械泵能有效地工作，故油擴散噴射泵又稱為油增壓泵。

　　

　　油擴散噴射泵與羅茨式真空泵相比較，結構簡單，無機械轉動部分，運轉可靠，維護方便，使用壽命長，廣泛用于真空冶金爐，如真空感應爐，真空電弧爐，電容器的真空干燥和浸漬，真空蒸餾設備，石油化工、塑料連續噴鍍，低密度風洞設備，固體火箭發動機點火模擬設備和固體發動機高空試車臺等設備中。

　　

　　但是，油擴散噴射泵不適用于抽除對金屬有腐蝕作用或與泵油產生化學反應的氣體。