油擴散噴射泵的主要抽氣部件是泵體、噴射器、導流管、鍋爐和回油管(如圖4-14所示)。噴射器由拉瓦爾噴管和超聲速擴壓管組成。 油擴散噴射泵鍋爐中產生的油蒸氣(2.6×10^3Pa—6.6×10^3Pa)經導流管輸送到拉瓦爾噴管加速，在噴管的出口處速度達到超聲速(馬赫數Ma >1)，油蒸氣流的位能(熱能和壓力能)轉變為8動能(速度能)。這個超聲速流依靠它的表面層的作用(裹攜和擴散)和被抽氣體混合進行能量交換，這種混合氣流的擴壓器的收斂段繼續混合并被逐步滯止在擴壓器喉部，產生正激波，得到壓力和溫度的恢復，速度降低為亞聲速流(馬赫數Ma<L)，再經過亞聲速擴散段(擴壓管的發散段)，進一步得到壓力和溫度的恢復，速度進一步降低，使動能轉化為位能，在擴壓管出口處壓力達到等于或高于其周圍的壓力而排至下一個抽氣級(下一級噴射器或前級泵入口級)。各級工作的油蒸氣流被器壁上的冷卻水管冷凝，經過回油管回流到鍋爐中，再重新加熱成油蒸氣流，如此循環進行抽氣。
　　
　　為提高油擴散噴射泵在低壓力(10-1Pa～10-2Pa)下的抽速，擴展它的工作下限，油擴散噴射泵的高真空級(第一、二級)采用與油擴散泵相同的傘形噴口。油擴散噴射泵綜合了擴散泵和噴射泵的工作特點，它是介于這兩類泵之間的一種特殊抽氣泵。