油擴散真空泵(簡稱油擴散泵)是用來獲得高真空或超高真空的主要設備。它廣泛用于電子工業、化學工業、真空冶金、真空熱處理、真空鍍膜設備、原子能工業以及空間模擬設備等高科技領域中。
　　
　　油擴散泵的工作壓力范圍為10^-2Pa～l0^-5Pa，極限壓力一般為7×10^-6Pa。若通過高溫烘烤除氣后更可獲得10^ -8Pa的真空度。泵的抽速大，抽速范圍寬(幾升每秒至十幾萬升每秒)。其特點是結構簡單，沒有機械運動部件，使用壽命長，可靠性高，操作與維護方便等。我國制訂有油擴散泵行業標準。標準規范了泵的技術性能、型式、參數、測試方法等。國內很多真空生產廠家都有定型的系列(K、KT)產品。新的KTD系列高真空低返油擴散泵具有抽速大(300L/s—55000L/s)，返油率低[≤6×10^-4g/(cm^2 .s)]的優點，該泵將水冷擋油帽和泵體組成一個整體，簡化了結構，并提高了真空抽氣系統的有效抽速。ZK系列高真空油增擴泵按抽氣機理仍屬油擴散泵，它的特點是在1.3×10^-lPa時仍有較大的抽速，并采用內加熱方法，縮短了泵的啟動時間。