1961年，有人發現低溫泵在抽除冷凝氣體的同時，殘余的非冷凝氣體也一起被排除了，而且非冷凝氣體的排除量比物理吸附的量還大。后來又有人發現，用77K冷凍面抽除冷凝氣體C02時，非冷凝性氣體N2也被抽除了。如果用77K的冷凍面來抽水蒸氣時，伴之對氮的抽氣效果更好。這是由于在深冷條件下形成的深冷霜對非冷凝氣體有一定的抽氣能力，這種現象稱為深冷霜吸氣現象。深冷霜的吸附實驗曲線如圖5-49～圖5-52所示。

　　
　　深冷霜抽氣的實驗結果見表5-21～表5-23。