典型的小型制冷機低溫泵的泵體結構如圖5-57所示。兩級制冷機冷頭通過法蘭直接插入到泵殼內。屏蔽板及入口障板與制冷機一級冷頭相連,工作溫度在70K~80K。屏蔽板的作用有二:除可以冷凝抽除H20、C02等氣體外,主要是為低溫抽氣板提供隔熱屏蔽,屏蔽板頂端或側壁裝有障板。向著低溫板的一面涂(鍍)黑,外面鍍銀拋光,用以降低二級制冷機頭的熱負荷。主抽氣低溫板用銦墊片連接到制冷機二級頭上,外表面鍍銀拋光,內壁粘活性炭。低溫板工作溫度低于20K,通常為(14K~15K),能大量冷凝吸附除氫、氖、氦以外的其它常見氣體。低溫活性炭用以吸附氫、氖、氦等難凝氣體。
氫是真空系統中分壓較高的氣體,氖和氦的氣量很小。在各種吸附材料中,活性炭對氫的吸附能力z*強,見表5-25。
泵芯結構通常使x= 0.75y,第二級對第一級的制冷功率比為1: 3.5~1: 11,而在低壓下(分子流態)1:100~1:200是z*佳值。低溫泵的抽速隨泵口橫截面的增加而增加,泵體高度的變化對抽速影響較小。
小型制冷機低溫泵外殼結構分為三種類型,如圖5-58所示。①裸式泵。將泵芯直接插入真空室中。②直筒泵。泵體外形為直筒形,是z*常見的三_種泵。③凸腔泵。泵腔部分擴大,提高泵的抽速。
小型制冷機低溫泵結構
2014-02-24 06:19:00 閱讀()
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