①裝置的組成與被測泵相連接的測試罩側(cè)壁，裝有真空計規(guī)管和進氣微調(diào)閥，通過微調(diào)閥與氣體流率測試裝置相連接。

　　
　　②測試罩如圖4-48所示，測試罩為一圓形鐘罩式組件，其內(nèi)徑D與泵入口內(nèi)徑以及擋板、冷阱的進口內(nèi)徑相同。罩體上蓋為與水平面呈100角的斜面，斜面截中軸線高為1.5D。試驗氣體通過彎管進入罩內(nèi)，彎管開口向上，即背離泵口，且位于中軸線上，距泵入口法蘭高為D。真空計規(guī)管連接管在罩壁距泵入口法蘭0.5D處，其軸線垂直于測試罩軸線，罩軸線垂直于泵入口法蘭平面。
　　
　　注：如果泵內(nèi)的零件超出了泵人口法蘭平面，這些伸出零件z*高點的參考平面及在這個平面距泵口距離由制造廠確定。
　　
　　③真空計規(guī)管與測試罩間連接管的流導，至少應為3L/s。連接管端突出于罩內(nèi)壁長度不超過連接管內(nèi)徑的0.5倍，一般可取Smm，開口平面應平行于氣流流動方向。如果使用冷阱，則應放置于規(guī)管與測試罩之間，且保持冷劑的液位不變。
　　
　　測試過程中真空計壓力讀數(shù)取二位有效數(shù)字，并注明真空計種類。所用真空計必須經(jīng)過國家計量部門承認的校準單位對于燥空氣進行校準。
　　
　　當壓力高于或等于1Pa時，校準精度應在±5%以內(nèi)。壓力更低時，校準精度應在±10%以內(nèi)。
　　
　　④氣體流率測量方法及裝置根據(jù)氣體流率選用測量方法及裝置。通常大多采用滴管式測量裝置，由倒置滴管、測量液、貯液槽以及連接膠管等組成。圓形貯液槽直徑應大于滴管直徑的5倍。滴管容量可根據(jù)被測泵氣體流率選擇。詳見本標準的附錄A。
　　
　　氣體流率的測量精度規(guī)定如下：
　　
　　a.流率大于9.9×10 -lPa.m3/s，為±3%;
　　
　　b.流率范圍9.g×10 -lPa. m3/s—9.9×IO - SPa- m3/s，為±5%;
　　
　　c.流率更小時，為±10%。
　　
　　注：理想氣體情況，假設為20℃。