①原理所采用的方法是定壓法。在測試過程中,泵口吸人壓力保持不變。實際上,測試罩內測得的壓力保持不變,就認為這個條件滿足了。
②程序步驟為測試抽氣速率,應將測試罩、真空計和氣體流率測量裝置,按(2)中④的要求裝配到被測泵上。在氣體流率測量裝置與測試罩之間,設置一個具有適當調節范圍的進氣微調閥。
按第(3)條規定測試條件泵正常工作,關閉進氣微調閥,抽空測試罩。達到或接近極限壓力,并且泵達到平衡溫度。
測量氣體流率之前,應先通過滴管內液位的升降動作,使內壁潤滑,并進行測試裝置的氣密封檢漏試驗。微調閥到滴管之間不得漏氣。
開啟微調閥,使氣體進入測試罩內。在所需的泵口吸人壓力范圍調節壓力,按算術平均值讀取壓力值。流率測試前應使系統達到壓力平衡狀態。
抽氣速率(體積流率)測試過程,應從z*低吸入壓力開始逐點進行(每個數量級內至少測五點,約在1.6,2.5,4,7和10)。但對增壓泵,則從z*高吸人壓力開始進行系列測量。對每個測量點,應盡可能同時測得泵口吸入壓力、環境大氣壓力和氣體流率。如果向測試罩輸入氣體時間超過60s,則壓力測量應以60s為一個周期,取平均值。如果輸入氣體進行中的壓力讀數波動過大,z*高與z*低值之差超過10%,則測量操作應重新進行。
不同壓力點兩次氣體流率測量之間的時間間隔,z*小為2min。
氣體流率及抽氣速率的測試與計算方法詳見本標準的附錄A。
蒸氣流真空泵抽氣速率的方法和步驟
2014-03-05 06:18:00 閱讀()
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