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擴散泵的抽速極限壓力的測定

  擴散的抽速只能在高真空范圍測量。因此制造廠的樣本中可以列出或不列出極限壓力值。如果制造廠對極限壓力加以說明,則必須給出獲得測量結果的操作條件與測量方法。為使各廠測量結果具有可比性,規定了統一的方法,詳見本標準的附錄B.
  
  3.附錄A氣體流率及抽氣速率的測試與計算【標準的附錄】
  
  (1)采用滴管裝置進行測試與計算
  
  按本標準(1)所述,泵按規定條件工作時對給定氣體的抽氣速率S,是通過測試罩的氣體流率Q除以測試罩指定位置平衡壓力p所得之商確定

擴散泵的抽速極限壓力的測定
擴散泵的抽速極限壓力的測定
  
  4.附錄B極限壓力的測定(標準的附錄)
  
  如果極限壓力作為泵的獨立測試項目測試時,需按下述規定進行:
  
  ①擴散泵自加熱開始,連續工作不超過8h,讀取極限壓力值。讀表記數之前,應按真空計的操作要求,對真空規管除氣8min。除氣后1h開始記錄讀數,并保持規管連續工作,每隔10min記錄一次。z*后1h內各次數的平均值,作為泵的極限壓力。
  
  擴散噴射泵(油增壓泵)自加熱開始,連續工作5h,便可讀取極限壓力值。
  
  ②測量極限壓力所用真空計及其規管,應符合本標準(2)中③的規定,但不用冷阱。
標簽: 擴散泵  

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