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油擴散泵臨界前級壓力的定義

  ①臨界前級壓力 一般工況,對于穩定工作時相應的氣體流率,臨界前級壓力是符合下述條件的諸前級壓力的z*小值:這些前級壓力微小的增高率都使吸入壓力產生規定的增高率。實際應用中,此規定的增高率的z*小值是10%。
  
  若相應的氣體流率為零,即泵口為極限壓力,則稱為空載臨界前級壓力。
  
  若相應的氣體流率為z*大,即泵口為z*大吸人壓力,則稱為滿載臨界前級壓力,代表泵的臨界前級壓力值。這是泵維持正常工作所允許的z*高前級壓力。
  
  ②測試罩指裝在泵入口處的具有規定的型式和尺寸的組件。試驗氣體通過罩進入泵內,其側壁裝有進氣微調閥和真空計規管。
  
  ③極限壓力泵按規定條件工作,關閉進氣閥門,在測試罩內趨向穩定的z*低壓力。
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