油擴散泵臨界前級壓力的測定報告

2014-03-09 06:06:00 閱讀()

　　在測試結果中，臨界前級壓力的單位是Pa，氣體流率的單位是Pa.L/s。除另有規定外，臨界前級壓力與氣體流率間的關系曲線應在坐標圖中表示。(1)中的①所述以確定臨界前級壓力的泵口吸入壓力增高率，應在圖中表示出來。
　　
　　在高真空側壓力沒有突然升高的情況下，應該提供氣體流率為零時，表示前級壓力與高真空間的關系曲線。