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油擴散泵加熱時間和功率的測試裝置

  (1)術語
  
  ①加熱時間指開始接通的加熱電源到泵起抽氣作用時的時間間隔。
  
  ②加熱功率指泵在正常工作時,其加熱器所消耗的電功率。
  
  ③測試罩 指裝在泵入口處的、具有規定的型
  
  式和尺寸的容器。測試氣體通過罩充入泵內,其側
  
  壁裝有微調閥及真空計規管。
  
  (2)測試裝置
  
  ①測試裝置的組成 測試裝置如圖4-51所示,與被試泵相連接的測試罩側壁裝有真空計規管和微調閥。

油擴散泵加熱時間和功率的測試裝置
  
  ②測試罩 測試罩為如圖4-48所示的圓形容器。罩的內徑D與泵口內徑相等,頂部具有10’斜面,軸線高度為1.5D。氣體通過彎管充人罩內,彎管開口向上,且位于測試罩軸線上。彎管開口平面與泵口法蘭平面的距離為D,規管與罩的連接管在距泵口法蘭平面0.5D處,其軸線垂直于測試罩軸線。
  
油擴散泵加熱時間和功率的測試裝置

  ③真空計規管與測試罩間連接管的流導至少應為3L/s。連接管端應突出于罩內壁5mm。開口平面應平行于氣流流動方向。如果使用冷阱,則應放置于規管與測試罩之間,且保持冷劑的液位不變。
  
  注:使用固體二氧化碳(干冰)和乙醇的混合物,將冷阱冷卻到- 10℃~- 80℃,不得使用液氮。
  
  測試過程中真空計壓力讀數取兩位有效數字,所用真空計,應經過國家計量部門承認的校準單位使用干燥空氣進行校準。
  
  當壓力高于或等于1Pa時,校準精度應在±5%以內;壓力低于1Pa時,校準精度應在±10%以內。
  
  ④瓦特表(功率表)根據泵的加熱器功率及接線方式,選用適當的瓦特表。所用單相瓦特表精度不低于0.5級,三相瓦特表不低于1.0級。
  
  ⑤電流互感器當泵加熱器每相電流強度超過5A時,使用瓦特表測量功率必須配用電流互感器,其變比應能保證瓦特表的讀大于滿刻度的二分之一。互感器精度應不低于0.5級。
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