油擴散泵加熱時間和功率的測試方法:
①加熱時間的測試啟動并接通前級泵,預抽被試泵及測試裝置系統。經微調閥控制測試罩內壓力為1OPa,然后測得自接通被試泵加熱器電源到罩內壓力降至10-lPa所需的時間,這段時間即為泵的加熱時間。
①加熱時間的測試啟動并接通前級泵,預抽被試泵及測試裝置系統。經微調閥控制測試罩內壓力為1OPa,然后測得自接通被試泵加熱器電源到罩內壓力降至10-lPa所需的時間,這段時間即為泵的加熱時間。
②加熱功率的測試
用瓦特表及電流互感器測量被試泵加熱器電功率。
在加熱功率測試過程中允許使用交流穩壓器,以維持穩定的電功率。
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