螺桿式真空泵根據螺桿式壓縮機的工作原理作成。國內外均有市售產品，特別適用于化工、制藥、航天航空等需要清潔抽氣的環境。
　　其基本結構有兩種型式：①螺桿式真空泵。其抽氣原理如圖3-88所示。在螺桿式壓縮機中，螺旋轉子的螺旋圈數茌1圈以上，而螺桿真空泵的螺旋轉子的螺旋圈數在2圈以上。這樣可以減少返流量，提高壓縮比。單級泵可從105Pa抽到1Pa的極限壓力，抽速為60m3/h～120m3/h。②矩形螺旋式真空泵。其結構原理如圖3—89所示。它由矩形斷面的右螺旋和左螺旋的一對轉子相嚙合，由同步齒輪帶動實現非接觸式的高速運轉，氣體由上側進入，在泵腔內壓縮，由轉子下端排除，轉子旋轉一周排氣一次。由于轉子和泵體內表面形成一種螺旋密封結構，矩形斷面間隙泄漏較少，加上它的螺旋圈數多，故可以得到比螺桿式泵較高的壓縮比。這種泵可從105Pa抽到極限壓力10^-1Pa，抽速為40m3 /h～80m3/h。