高真空下抽氣時間計算

2014-04-16 06:47:00 閱讀()

　　在高真空領域內，真空設備內材料的出氣可以忽略時，真空室的抽氣時間計算域低真空抽氣
　　
　　氣計算相同。由于高真空泵抽速較大，這段時間很短。實際上高真空的抽氣時間，主要取決于材料出氣。
　　
　　在剛開始抽氣的幾十小時內，材料出氣率是變量，因而真空室的總出氣量隨抽氣時間而衰減。計算到達某一壓力所需的時間由總出氣量和泵（或機組）的有效抽速的比值決定。一般可用查材料出氣率曲線和繪圖方法進行計算。
　　
　　例如計算抽到壓力p需要的抽氣時間步驟如下：