真空室：粗抽泵抽速確定

2014-04-18 06:25:00 閱讀()

　　各種低溫泵、低溫吸附泵(不含分子篩泵)、濺射離子泵、鈦泵等均需要在某種預真空下才能啟動。此時，系統所需預抽泵的抽速不僅與真空室容積有關，同時與所設定的預抽時間有關。預抽泵的抽速用下式計算

　　
　　其余符號同式(9-11)。
　　
　　對于大型真空系統，用主泵配置的前級泵作為粗抽泵時不可取。因為有時為了縮短粗抽時間，前級泵需配置較大，長期運行耗能很高，很不經濟。為此，大型系統均配有專用的粗抽泵。其抽速計算同式(9-26)。

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