超高真空主要用于表面研究、熱核反應、高能加速器、半導體研究、空間模擬等科學領域中。由于這些現代科學技術發展的需要，大大促進了超高真空技術的發展，目前超高真空實用真空度已達10 -12Pa。
　　
　　現代超高真空技術與超高真空萌芽的20世紀50年代相比，有如下特點：
　　
　　①真空裝置的容積大，有的達上千立方米，并且達到的真空度高。
　　
　　②測試手段復雜，除了測量真空度外，還包括質譜分析，低能電子衍射，電子譜等。
　　
　　③材料選擇上，用不銹鋼代替了玻璃;密封材料多半使用銅。
　　
　　④用捕集式真空泵，如：低溫泵、各種鈦泵代替了油擴散泵;用無油超高真空代替了有油超高真空。
　　
　　超高真空與高真空系統設計有不少相同之處，主要有：管路的流導計算;殼體強度計算;主泵抽速計算及泵之間匹配選擇;真空元件的清潔處理及檢漏等。
　　
　　超高真空與高真空系統設計也有許多不同之處：選擇真空泵的方法不同;對材料要求更為嚴格;密封結構和密封材料不同;采用了烘烤措施;焊接結構和方法不同;對漏率控制更為嚴格。