超高真空系統所用的主泵有油擴散泵、濺射離子泵、鈦泵(蒸發式或升華式鈦泵)、渦輪分子泵、低溫泵等。近年來國內有用鋯鋁吸氣劑泵與其它泵類組合抽氣來獲得超高真空。
　　
　　對超高真空系統使用的真空泵要求，除通常的選泵原則外，還有：
　　
　　①主泵極限真空要比真空裝置的工作真空高一個到一個半數量級，如工作真空選1×10^-6Pa，那么泵的極限真空至少為1×10^-7Pa;
　　
　　②在真空裝置工作真空范圍內，真空泵要有足夠的抽速，以便排走裝置中氣體;
　　
　　③主泵或者主泵入口到真空室排氣口的管道、冷阱、擋板、閥門等均能經受250°C—450°C的烘烤;
　　
　　④主泵對被抽氣體有選擇性抽氣時，應配輔助泵聯合抽氣;
　　
　　⑤真空泵所用鋼材應選用不銹鋼。