油擴散泵是獲得超高真空的重要泵種，但必須很好地解決污染，否則無法獲得超高真空。擴散泵系統的污染主要來自擴散泵油的返流，機械泵油的返流，以及擴散泵油加熱分解產生的永久性氣體，如氫、甲烷、乙烷等的返流。擴散泵油返流原因、影響及防止在第四章已論述過，這里不再贅述。分解產生的永久性氣體用液氮冷阱是無益的，應使用鈦升華阱，資料[66]介紹的鈦升華阱得到了10^-9Pa的真空度。減少機械泵油的返流有三種方法：
　　
　　①在粗抽管道中加液氮冷阱，是一種z*有效的方法。資料[67]中給出了這種冷阱結構，并給出了譜圖;
　　
　　②粗抽管道上安裝充氣閥，充入干燥氮氣，使真空室保持到15Pa—30Pa真空度;
　　
　　③不用粗抽管道，通過擴散泵進行粗抽。一般來講，污染控制較好的真空系統，可得到10^-10Pa的真空度。