真空微調閥又名真空針閥，靠螺桿傳動來調節錐形針和孔的縫隙長度，改變閥座流導值，用以調節流量裝置的氣體流量和控制真空容器的真空度。
　　
　　①上海閥門二廠生產GW-J-T型和ZT型兩種規程的真空微調閥。適用介質為空氣及非腐蝕性氣體。
　　
　　GW-J-T型高真空微調閥外形尺寸及技術性能參數見表7-79。




　　ZT型真空調節閥用來調節充入真空系統的氣體流量，其外形尺寸及技術性能參數，見表7-80。



　　
　　②上海萬可姆高科技有限公司生產的GW-J-T型真空微調閥有GW-JP I型（一般調節）和GW-JPⅡ型（精細調節）兩種。閥門關閉后總漏率（閥體、閥針密封處）：1.3×10-6Pa·L/s;耐正向壓力0. 1MPa～1.0MPa。閥針閥座材料采用316L，閥體、閥桿為304不銹鋼，通徑有1mm、1.5mm、3mm三種規格。GW-JP I型為變通細牙螺紋調節。使用溫度范圍：-30℃～150℃；適用介質：空氣、蒸氣、水、酸、堿等。其外形尺寸見表7-81。


　　
　　③沈陽中科儀技術發展有限公司生產CW16超高真空微調閥，適用于超高真空容器或流量計的氣體流量調節，可精確控制送人真空系統的進氣量，用以達到需要的穩定真空度。外形尺寸及技術性能參數見表7-82。