真空裝置：超高真空鉭片爐

2014-04-24 06:32:00 閱讀()

　　圖9-14為鉭片爐真空系統原理圖。

　　
　　真空室直徑500mm，主泵為濺射離子泵—鈦升華泵組，抽速為4×10^3L/s。真空室極限真空為2xl0^-7Pa，工作壓力為2×10^-5Pa，為了粗抽及對付工藝過程中放出來的大量氣體，配有油擴散泵一機械泵組成的機組。

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