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真空裝置：.溫控涂層耐久性試驗裝置

2014-04-25 06:43:00  閱讀()

　　圖9-16為衛星表面溫控涂層耐久性試驗裝置原理圖。裝置包括：加速電壓20kV、柬流為0—300mA的掃描電子槍;能量為1keV～SkeV的質子源;5kV高壓汞弧氙燈紫外源，通過鍍鋁拋物面反射鏡，穿過石英窗投射到樣品上。
真空裝置：.溫控涂層耐久性試驗裝置
　　
　　真空系統主泵是鈦升華泵及濺射離子泵，升華泵的吸氣面用液氮冷卻。粗抽用三級分子篩吸附泵。系統經過300℃的烘烤，可達10^-9Pa的真空度。
標簽： 真空  

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